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K8凯发干净助力先导芯光晶圆厂通线，高端化合物半导体全链基地落成

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2026年09月30日 10:43

近日，K8凯发干净参加建设的先导芯光电子科技（武汉）有限公司（以下简称“先导芯光”）晶圆厂在东湖综保区正式通线。该晶圆厂是先导科技集团投资120亿元建设的高端化合物半导体资料及芯片产业化基地的造作主题，建有磷化铟4/6英寸与砷化镓6/8英寸双资料大尺寸光电芯片平台。通线后，基地由建设期转入工艺认证与产品导入阶段，200G光芯片代工导入先行，400G平台各项目同步进入流片与验证阶段，平台将以晶圆代工与结合研造两种方式向产业链盛开，标志取我国高端化合物半导体产业链在晶圆造作环节迈出了关键一步。

项目宣传视频

项目概况：百亿芯光落子光谷，构筑化合物半导体全链基地

该项目由全球稀散金属行业领军企业、中国最大化合物半导体衬底供给商——先导科技集团有限公司投资，于2024年3月落户武汉光谷，总投资120亿元，构筑面积26万平方米，规划年产砷化镓芯片5万片、磷化铟芯片1万片及光电器件30万只，是国内少数具备衬底、表延、芯片、器件全链条出产能力的“超等工厂”。

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项目成效图

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项目航拍实景图

K8凯发干净承建项目出产厂房、动力站房、环保处置设施、化学品及特衷禅体存储区等全部主题职能区域，覆盖构筑装璜装建、结构、给排水、暖通、动力、电气、自控、消防、通讯、安防等系统，以及纯水、废水、大量气、造程排气等关键工艺配套专业。

项目亮点：以干净技术赋能高端造作，设置高端半导体厂房标杆

亮点一：全梯度干净车间与高纯工艺系统

项目净化车间总面积超20000㎡，覆盖十级、百级、千级、万级及十万级全梯度干净等级。

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十级干净厂房

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百级干净厂房

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百级干净走廊

暖通系统：针对分歧区域干净度需要，K8凯发干净选取“MAU+ FFU+ DCC”空调大局，通铺1.2m高铝合金高架地板，构建“上送下回”的气流组织，精准保险温湿度节造与压差梯度不变，充分满足化合物半导体光刻、刻蚀等主题工艺对微环境的严苛要求。

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1.2m高铝合金高架地板

超纯水系统：本项目纯水要求达到12英寸芯片级水准——颗粒物节造（Partiles@ ≥0.05μm ≤300#/liter）、水压节造（3.5bar g可调，精度±0.5bar g）、硼离子节造（Boron as B ＜1PPb）。项目选取2B3T树脂工艺（阴阳床+脱气脱碳塔）工艺流程，在保障出水极致纯净的同时，显著降低后续守护成本，为芯片良率提供靠得住保险。

亮点二：高定装璜与智能观察窗，两全职能与展示

项目一层层高达7.9m，干净壁板选取手工板全高墙，确保整体气密性与平坦度。

在参观走路区域，K8凯发设置了一整排2m×2.2m的电控观察窗，具备雾化/通明双模式切换职能：平时为雾化玻璃，有效保险车间内部隐衷；参观时一键切换为通明窗户，可直观展示干净室内出产场景。在满足干净要求的同时，极大提升了项主张科技感与展示性。

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电控观察窗

亮点三：BIM技术深杜爪用，破解夹层空间瓶颈

本项目上夹层空间极为有限，且大部门管路集中在走路区域�8凯发干净BIM团队提前染指、全专业协同建模，实现精密化分层规划：空调管、消防风管水管、酸碱有机排气、桥架、母线等安插于静压箱层；UPW超纯水、PCW工艺冷却水、CDA压缩空气、GAS特衷禅体、纯废水、大量气等管路设置于高架地板之下，便于二次配施工，极大削减管路翻弯与碰撞。不仅有效降低了现场施工难度，更实现了管线排布的整洁美观与后期守护的便捷高效，成为工业干净厂房数字化建造的优良范例。

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项目BIM模型图

先导芯光晶圆厂通线，是先导科技集团从资料到芯片战术在武汉落地的关键一步，也是K8凯发干净以干净技术赋能高端造作的又一标杆实际。通线后，基地将面向光通讯与射频通讯，持续盛开晶圆代工与结合研造，助力我国高端化合物半导体产业链自主可控。将来，K8凯发干净将持续秉持“以干净技术赋能全域产业升级”的使命，为中国集成电路产业的自主可控与全球竞争力提升贡献坚实力量。

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